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光纤式光学针描法粗糙度测量技术

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本文针对传统针描法存在的固有缺点,提出了以单模光纤做“触针”的光学针描法粗糙度测量技术.讨论了它的基本原理,“触针”形状尺寸,光纤探头结构设计,实验系统及测量结果.

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来源
《全国第六届电子测量与仪器学术报告会》|2000年|187-190|共4页
会议地点太原
作者
鲍振武; 刘钊; 刘剑飞;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类激光技术、微波激射技术;金属电抛光及化学抛光;
关键词
粗糙度测量; 轮廓调制; 光学针描法; 探头结构; 金属表面;

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