超精密平面抛光技术

摘要

修正环型抛光机用于超精密平面抛光,并对沥青抛光进行了运动学分析.基于得到的方程式,发现在相同条件下,计算出的抛光量和平面度与60mm直径玻璃贺板工件的实验值非常一致.提出了用于改善抛光平行度的偏心分布载荷技术.

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