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金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)——气敏薄膜厚度效应的实验规律

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介绍了N型金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律。给出了响应时间和恢复时间随膜厚及气体浓度变化的规律；指出了气敏薄膜存在最佳灵敏度的膜厚和最佳晶粒尺寸的事实；给出了低真空退火后敏薄膜的电导激活能随膜厚变化的实验曲线。

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来源
《第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会》|2000年|40-42|共3页
会议地点郑州
作者

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作者单位

中国电子学会;

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原文格式 PDF
中图分类 TP212;TN303.99;
关键词
气敏器件; 薄膜; 厚度; 金属氧化物; 晶粒尺寸;

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