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机构、驱动、检测一体化纳米级微动机器人系统的研究

摘要

具有纳米级定位精度的微动机器人系统的研究一直是国内外的研究热点之一,机构、驱动、检测一体化的设计方法是实现机构紧凑的纳米级定位系统的有效方法.本文对这一设计方法的原理、关键问题及实现方法进行了详细的论述,并给出了样机图片和实验结果.

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