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存在于薄膜电感器内部磁导率的分析

摘要

该文研究薄膜电感器的平均磁导率,关系到沉积薄膜时工艺的损伤、畴壁结构、局部去磁场和电感器中的有效气隙,据估计有效空气隙对于闭合磁路的蛇形薄膜电感器内部磁率的影响是最重要的。

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