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用IAC技术制备DLC膜的性能研究

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该文简单介绍利用离子束辅助镀膜(IAC)设备沉积类金属刚石碳(DLC)膜的工艺，并对沉积的DLC膜的硬度、电阻率、结合力等乾地测试分析研究，以便为DLC膜的开发应用提供工艺依据。

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来源
《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》|1999年|225-228|共4页
会议地点成都
作者
朱启良; 林美娟; 过骐千; 王锦辉; 周灵平;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类表面现象的物理化学;
关键词
离子束镀膜; 类金刚石碳膜;

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