45GHzECR等离子体源

摘要

该文简要描述了一台频率为2.45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试,表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。

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