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氮化碳超硬复合膜的结构分析

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用直流反应磁控溅射－多弧离子镀技术，在高速工具钢基体上沉积C<,3>N<,4>/TiN复合超硬薄膜。薄膜中存在β-C<,3>N<,4>和α-C<,3>N<,4>六角晶系硬质相氮化碳，用XRO和TED两种方法同时观测到薄膜中还存在立方晶系c-C<,3>N<,4>和p-C<,3>N<,4>，复合膜的显微硬度46.7GPa，用原子力显微镜观察了薄膜的表面微结构。

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来源
《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》|1999年|234-238|共5页
会议地点成都
作者
彭友贵; 傅德君; 刘传胜; 高鹏; 叶明生;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类表面活性物质的化学;
关键词
氮化碳; 超硬薄膜; 刀具涂层技术;

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