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郑思孝; 刘仲阳; 廖小东; 孙官清; 王培录;
中国电工技术学会;
中国电子学会;
中国电机工程学会;
弧放电高温等离子体; 簇团粒子; 凝团机制;
机译:带有冷空心阴极的弧源中气体放电等离子体的产生
机译:激光触发放电产生的锡等离子体EUV源放电后的间隙绝缘强度和EUV辐射恢复的研究
机译:激光辅助放电产生的Sn等离子体EUV源的Z收缩内爆等离子体的动力学研究
机译:用于光刻的高功率EUV源 - 激光产生的等离子体和气体放电产生的等离子体的比较
机译:在放电产生的EUV等离子体源中通过反应离子蚀刻清洁锡屑。
机译:高温放电火花等离子体烧结制备微米级/纳米级WC-9%Co硬质合金的摩擦学表征
机译:放电产生的等离子体光源。关于放电的实际应用和未来前景的技术问题,用于光刻产生的等离子体源。
机译:通过稳定的分段非平衡滑动弧等离子体放电(后印刷)增强燃烧
机译:等离子体真空弧源阴极点运动轨迹的控制方法及等离子体真空弧源装置
机译:利用正偏压等离子体电极产生的提取孔附近的局部放电产生的高亮度等离子体离子源
机译:用于将固体氧化物高温电解辉光放电池耦合到等离子体弧炬的系统,方法和装置。
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