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热激电流(TSC)测量系统及应用

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介绍热激电流测试方法，并用该方法测量了ＳＩ－ＧａＡｓ材料的ＴＳＣ特征谱图。同时对ＳＩ－ＧａＡｓ的深能级中心的行为进行了初步的分析。

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来源
《中国电子学会生产技术学分会理化分析专业委员会第六届年会》|1999年|7-9|共3页
会议地点北京
作者
郑庆瑜; 王良; 孙毅之;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.23;
关键词
热激电流; SI-GaAs; 缺陷;

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