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热驱动薄膜式微型泵的模拟与实验

摘要

为了了解热驱动薄膜式微型泵的性能,对泵的主要部件进行了分析,然后对泵的整体性能进行了模拟。得到了微型泵的频率特性,流量-压头曲线及流量随功率的变化。发现泵的流量在3.33赫兹左右达到最大,泵的零流量压头为64kPa左右;当输入功率较大时,由于挠曲效应,泵的流量随输入功率迅速增大。实验测定了微型泵的频率和功率特性,模拟结果与实测结果基本吻合。

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