首页> 中文会议>第九届全国等离子体科学技术会议 >一台5kW/2450MHz微波等离子体系统的研制

一台5kW/2450MHz微波等离子体系统的研制

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

该文介绍了最近为用户研制的一台MPS-2050C，5kW/2450MHz微波等离子体CVD实验加工系统，它包括一台5kW高稳定计算机程控微波源，带智能销钉调配器的高性能微波传输系统，下注式（Downstream）微波反应腔，带多功能端口等离子体放电腔，以及四路气体MFC和相应的真空系统，该系统主要用于中等压强条件下高质量金刚石薄膜等多种材料的化学气相沉积（CVD），表面清洗和改性等多种用途，经初步试用系统性能良好。

著录项

来源
《第九届全国等离子体科学技术会议》|1999年|182-185|共4页
会议地点大连
作者
季天仁; 刘华; 鄢阳; 黎晓云;
展开▼
作者单位

中国力学学会;

中国核学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP271.5;
关键词
5kW/2450MHz; 微波等离子体系统; 计算机程控微波源; 微波传输系统;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 中科院研制成功5kW固体氧化物燃料电池系统 [J] . KX.0127 . 军民两用技术与产品 . 2016,第3期
2. 风力发电系统中的5KW单相逆变器研制 [J] . 宋学瑞 ,余明杨 . 长沙铁道学院学报 . 1994,第004期
3. 5KW风力发电系统控制保护器的研制 [J] . 李平 ,常振炎 . 风力发电 . 1990,第004期
4. 我国第一台中子测井测铀系统成功研制 [J] . . 地质装备 . 2014,第1期
5. 我国第一台超千万亿次超级计算机系统研制成功 [J] . . 中国科技产业 . 2010,第006期
6. 一台5kW／2450MHz多用途微波高温马弗炉的研制 [C] . 刘华 ,季天仁 ,黎晓云 . 第三届中国功能材料及其应用学术会议 . 1998
7. 5kW碟式太阳能斯特林发电系统的设计和研制 [A] . 高敏 . 2012

一台5kW/2450MHz微波等离子体系统的研制

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅