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深亚微米半导体器件数值模拟方法的研究

摘要

本文对半导体器件模拟中所涉及到的一些关键问题进行了系统研究。提出了适合于深亚微米半导体器件的流体动力学模型,及其面向对象的模拟软件分析与设计技术,初步探讨了基于CORBA平台下并行计算方案的实施及其有效性。

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