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硫化锌交流电致发光薄膜的表面结构

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对研制的掺铒硫化锌交流电致发光薄膜，进行表面的X射线衍射（XRD）、x射光电子能谱（XPS）测量，研究认为，薄膜多晶的沉积有择优取向的趋势，发现表层碳、氧主要来源于表面吸附与沾污，严重影响器件质量。

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来源
《全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议》|1998年|95-97|共3页
会议地点宜昌
作者
柳兆洪; 刘瑞堂;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
硫化锌交流电致发光薄膜; 表面结构;

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