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提高功率HBT可靠性技术研究

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功率HBT的可靠性是制约器件实用化的关键因素之一。该文对影响HBT器件可靠性的一些机理进行了分析，开展了相关工艺的研究，并制作了性能良好的器件样品。

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来源
《全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议》|1998年|165-168|共4页
会议地点宜昌
作者
焦智贤; 蔡克理;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
功率; HBT; 可靠性技术;

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