退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
李昕欣;
微电子机械;
机译:通过碳的电子束诱导沉积(EBID)与硅的金属辅助化学刻蚀(MaCE)结合,可对三维结构进行无掩模且无抗蚀剂的快速原型制作
机译:微流控的无掩模写入:使用聚合物基材上的刮擦快速制作3D微流控原型
机译:无掩模微等离子体刻蚀的多层悬臂残余应力引起的变形研究
机译:通过无掩模-无掩模湿法各向异性蚀刻进行微加工,以实现{100}取向硅中的多层结构
机译:用于半球成像器的a-硅:氢TFT被动像素传感器的无掩模激光刻蚀光刻技术。
机译:使用无掩模光刻技术控制吸收率的功能材料的可编程渐变微图案
机译:采用双面(结构化)光掩模制作硅通孔制造的优化光刻工艺,用于掩模对准器光刻
机译:在无掩模微离子束减少光刻系统中演示电子图案切换和10倍图案缩小
机译:用于制造多层微图案主体的光掩模结构以及使用该掩模结构的多层微图案主体的制造方法
机译:基于多孔硅密封气穴技术或微通道技术的低功耗硅热传感器和微流控设备
机译:制造利用无掩模浅沟槽隔离和栅极导体填充技术隔离的自对准多晶硅FET器件,并在台面中形成有源器件和伪掺杂区
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。