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传感器新结构研究--谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器

摘要

该文介绍了两种新颖的微机械传感器-谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器的制作工艺和测试结果,研究表明该传感器工艺简单易控,适合于大批量生产,有很好的应用前景。

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