首页> 中文会议>第十届全国塑料光纤聚合物光子学会议 >基于MZI的柔性光波导加速度计

基于MZI的柔性光波导加速度计

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

加速度计是惯性导航、惯性制导和控制检测设备的重要测试元件，广泛应用于航空、航海和自动控制等领域。加速度信号的测量通常是利用惯性原理，通过感知惯性力所产生的位移或者应变而测得相应的加速度。目前，加速度的传感原理可分为以下几类:电容式、压电式、压阻式、磁阻式、光电式等。相对于基于电磁原理的加速度计，利用光学原理设计的加速度计具有显著的优势，例如，抗电磁干扰、电绝缘、响应快、高灵敏度、耐腐蚀等。常规的光学加速度计采用光纤和分立的光学元件作为信号的载体，因而体积通常会比较大。随着集成光学技术的发展，基于微光机电系统的加速度计由于具有低成本、高集成度、体小质轻等优势而得到了越来越广泛的研究。本文展示了一种基于非对称结构马赫-曾德尔干涉(MZI)的柔性集成光学加速度计(MZIA)。该非对称MZI器件带有一个悬臂梁，且波导及衬底采用聚合物材料，从而实现器件的弹性特性。当所测量的加速度给柔性悬壁梁上施加惯性力时，MZI结构的长臂波导上将产生应力。由于光弹效应及波导物理延伸的作用，长臂波导中光的传输相位随着悬臂梁的弯曲而偏移。通过检测MZ干涉的输出光强，提取出所测量的加速度信号。本文研究了器件灵敏度与结构参数的关系，并制作了样品。此传感器结构简单，因而适合大规模生产。

著录项

来源
《第十届全国塑料光纤聚合物光子学会议》|2014年|107-108|共2页
会议地点南京
作者
胡威; 钱广; 万峰华; 张彤;
展开▼
作者单位

中国光学学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH824.4;
关键词
加速度计; 马赫-曾德尔干涉; 灵敏度; 结构参数;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种基于MZI的聚合物光波导加速度计 [J] . 万峰华 ,胡威 ,张彤 . 电子器件 . 2017,第003期
2. 基于MZI光波导的MOEMS压力传感器 [J] . 王仕超 ,张晓霞 ,周勇 . 仪表技术与传感器 . 2009,第012期
3. 一种基于非对称MZI的光偏振复用解调技术研究 [J] . 彭晨 . 光通信技术 . 2015,第006期
4. 基于柔性盘技术的光纤加速度计研究 [J] . 冯勤 ,杨国光 . 光学仪器 . 2004,第004期
5. 基于柔性基片集成波导技术的Ka波段功率放大器的设计和制作 [J] . 朱红兵 ,洪伟 ,田玲 . 红外与毫米波学报 . 2010,第003期
6. 基于Polymer/SiO2材料的MZI型热光开关温度稳定性研究 [C] . 牛东海 ,孙仕琦 ,姜明慧 . 第十二届全国塑料光纤、聚合物光子会议 . -1
7. 柔性光波导加速度计的设计与制备 [A] . 胡威 . 2015

基于MZI的柔性光波导加速度计

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅