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沈克明;
等离子体;
机译:反应性ECR溅射法制备含钴氧化铁薄膜介质的等离子体氧化处理效果
机译:直流反应溅射法制备ZnON和ZnO薄膜晶体管的比较研究
机译:锥形靶通过反应性ECR溅射法高速制备Ni-Zn铁氧体薄膜
机译:反应溅射法制备ZnO薄膜制备
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:磁控溅射法制备纳米结构的ZnO / Ag薄膜对氨气检测的快速响应
机译:ECR微波等离子体溅射法合成AlN薄膜。
机译:ECR微波等离子体沉积类金刚石薄膜
机译:氧化锌(ZnO)基单晶纳米结构,制备ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,ZnO基单晶薄膜和ZnO基材料包含ZnO薄膜的方法
机译:面向靶溅射法制备用于OLED的GA掺杂Zno薄膜
机译:产生ECR等离子体的装置以及采用相同的磁控溅射法沉积膜的装置
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