鑫单晶项目研究进展

摘要

研究阐明:侧部长晶功率过高和过低都会对晶体质量产生影响,前者会引起外围锭位错增殖过快,后者会引起中间锭产生阴影;均匀对称的热场和散热方式对鑫单晶晶体质量同样至关重要。

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