降低还原炉硅棒辐射能量研究

摘要

本文主要通过理论计算硅棒辐射能与总输入的比例,并提出较为可行的解决措施,为进一步降低改良西门子法制备多晶硅工艺的能耗提供支撑,使用改良西门子法生产多晶硅过程中,还原炉能源消耗主要分为加热进炉气体物料、提供化学反应所需的热量与硅棒向炉筒内壁辐射的热量。

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