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低阈值蓝绿光垂直腔面发射激光器研究

摘要

与传统边发射激光器相比,垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有单纵模工作、低阈值、圆形对称光斑、与光纤耦合效率高以及制作成本低等优点,因而在高密度光存储、高分辨率激光打印、固态照明以及显示光源等领域有着广泛的应用前景.经过不断的努力,国际上已有若干研究小组报道了电注入GaN基VCSEL的室温激射.前不久,小组也报道了蓝紫光波段GaN基VCSEL的室温激射,并且获得了1.2KA/cm2的较低阈值电流密度.在本论文中,在已有的基础上做出改进,使用量子点材料取代量子阱作为VCSEL的有源区,提高了器件的内量子效率,采用金属键合技术将器件转移到具有更高热导率的Cu衬底上,极大的改善了器件的散热特性,并最终实现了室温下蓝绿光波段的GaN基VCSEL的激射。

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