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TFT-LCD液晶基板玻璃结石缺陷产生机理及对策

摘要

TFT-LCD液晶基板玻璃熔解缺陷主要为:气泡、结石.由于目前随着熔解工艺逐步成熟、完善,气泡缺陷所占比例基本控制在2%~5%左右,而结石缺陷由于产生机理及产生位置的差异,同时由于其种类较多,对策较为困难,因此,结石缺陷成为影响玻璃良率主要缺陷.结石缺陷分为:铂金结石、硅锆结石、氧化锡结石、方石英等.本文将重点从这几类结石产生机理及初步对策措施入手加以阐述.

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