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原子力顯微儀應用於奈微米粒子之統計分析技術比對

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为评估原子力显微仪(atomic forcemicroscopy,AFM)检测分析奈微米粒子之粒径统计分析与其形貌的关系,本研究比对扫描式电移动度分析仪(scanning mobility particleanalyzer,SMPS)量测不同形貌之微粒计数分布与粒径量测结果,并与团粒单极充电理论(Hemingway,1995;Chang,1981)计算的粒径理论值作比较.AFM检测分析(图3)与SMPS的平均粒径量测值比对结果显示,量测值小于150nm时,由于微粒形貌近似球体因此两者量测值接近;而量测值大于150nm时,由于微粒形貌近似椭圆体的个数增加以致于两者量测值产生差异.因此造成量测值差异的主要原因是微粒的形貌,特别是不规则团聚或者椭圆体微粒会影响量测值(图5).而进一步应用Fuchs的充电理论计算修正,结果显示平均粒径量测值之准确度可进一步提升10％.根据量测与理论计算的结果,微粒形貌是造成量测结果分布偏移的原因.依据ISO27891:2015国际标准,量测受到多重带电微粒(multiple-chargedparticles)的影响(图6),以及校正时微粒浓度偏差的影响,故微粒计数之标准校正程序可针对上述因子进行系统评估与修正,进一步提升量测准确度.

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来源
《第11届海峡两岸计量学术研讨会》||229-232|共4页
会议地点台湾桃园
作者
蘇健穎; 邱建嘉; 陳哲勤; 周榮源; 蕭銘華; 楊力權; 莊昕曄; 李柏樺; 朱念南; 蕭健男; 蔣東堯; 陳峰志;
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作者单位

中国计量测试学会;

台湾计量工程学会;

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会议组织
正文语种
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中图分类
关键词
原子力显微仪; 标准技术; 微粒形貌; 测量准确度;

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