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氮对多晶硅铸锭性能的影响与一种化学增强抗溶解氮化硅涂层

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本文介绍了氮对多晶硅铸锭性能的影响与一种化学增强抗溶解氮化硅涂层，氮化硅涂层在熔融硅中不断溶解释放氮，造成硅锭氮过饱和/或氮化硅沉淀，会导致硅锭少子寿命严重下降，还有可能硬化晶体硅，使之相对更难切割。

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来源
《2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会》|2018年|1-19|共19页
会议地点南昌
作者
尹传强; 明亮; 周浪; 石坚;
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作者单位

中国可再生能源学会;

上海市太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12:TN304.05;
关键词
多晶硅; 铸锭工艺; 氮化硅涂层; 抗溶解性能;

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