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N型铸造多晶硅中磷的挥发及分布研究

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本文阐述了N型铸造多晶硅中磷的挥发及分布，当铸锭中间位置的界面曲率十分平直，理论上磷的横向分布应该也是均匀的，但是实际上边部磷含量略高于中心部位，这是因为凝固前期边部和中心部位熔体流动速度不同导致的。

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来源
《2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会》|2018年|1-22|共22页
会议地点南昌
作者
李鹏廷; 王子龙; 谭毅;
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作者单位

中国可再生能源学会;

上海市太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12:TN304.05;
关键词
多晶硅; 铸锭工艺; 磷元素; 挥发性能; 分布规律;

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