首页> 中文会议>2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 >Role of H2O in the characterization of the IWOH films prepared by reactive plasma deposition

Role of H2O in the characterization of the IWOH films prepared by reactive plasma deposition

摘要

本文首先介绍了高效率SHJ太阳电池研发平台,指出具备2MW从硅片到电池、封装的研发制作能力,分析了SHJ太阳电池结构和特征,提出了高效SHJ太阳电池关键技术,适宜极薄膜均匀沉积的晶体硅表面结构,这是实现高开路电压的前提和基础;异质界面缺陷态调控是实现高开路电压的关键;高迁移率高透光率TCO膜是实现高电流密度和填充因子的关键。并对两种透明导电膜制备技术,以及RPD制备高品质TCO薄膜及应用进行了研究。

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