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氧气分压和衬底温度对掺杂铝氧化锌透明导电薄膜性能的影响

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通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列铝掺杂氧化锌透明导电薄膜,研究了氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的结构和光电性能的影响.X-射线衍射研究表明铝掺杂氧化锌薄膜是沿c-轴方向堆积的具有六方结构的多晶薄膜,实验获得的最佳沉积衬底温度和氧分压分别为400°C和5∶100(O2/Ar),在该条件下制备的铝掺杂氧化锌薄膜具有较低的表面电阻(＜80Ω/口)和较高的平均透过率(＞80％).

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来源
《2017中国(赣州)国际新能源汽车动力电池高峰论坛暨第九届中国储能与动力电池及其关键材料学术研讨与技术交流会》|2017年|1-8|共8页
会议地点江西赣州
作者
Peng Guang-Huai; 彭光怀; Li Jin-Qiong; 李金琼; Wen He-Rui; 温和瑞; Liao Jin-Sheng; 廖金生; Hong Rui-Jin; 洪瑞金;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM242:TM205.1;
关键词
铝掺杂; 氧化锌; 透明导电薄膜; 直流磁控溅射; 氧气分压; 衬底温度; 光电性能;

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