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应用解卷结合衍射振幅校正确定AlSb/GaAs失配界面原子组态

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在研究AlSb/GaAs界面失配位错核心结构时,借助常规的解卷处理技术未能获得清晰的界面结构.本文尝试在解卷过程中结合衍射振幅校正,以改善所求得界面结构的质量.对高分辨像进行解卷处理可以恢复电镜信息极限之内的晶体结构信息.但动力学衍射效应使解卷像偏离晶体的投影势,于是解卷像的傅里叶变换将偏离晶体的结构因子.对解卷像的衍射振幅进行校正可以减少偏离量,从而改善解卷像的质量.衍射振幅校正方法成功地用于求定AlN不全位错的核心结构,达到了原子分辨率.

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来源
《2013年全国电子显微学学术会议》|2013年|24-25|共2页
会议地点重庆
作者
崔彦祥; 姚湲; 李方华;
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作者单位

中国物理学会;

中国电子显微学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类化合物半导体;
关键词
化合物半导体; 失配界面; 原子组态; 解卷技术; 衍射振幅校正;

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