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Al2O3陶瓷表面化学气相沉积Ti涂层的研究

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在陶瓷表面包覆一层金属Ti活化涂层,可改善陶瓷与金属间的润湿性.研究在金属-陶-焊接、陶瓷涂层及陶瓷-金属复合材料制备等技术领域有宽广的应用前景.结果表明：化学气相沉积法在氧化铝陶瓷表面制备钛涂层的适宜工艺参数为Ti: I2(质量比)=1:3，沉积温度为1100℃，沉积时间为60min。所获得的涂层纯度较高，具有明显的(110)晶面择优取向性。涂层与陶瓷结合良好。

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来源
《第十一届全国工程陶瓷学术年会》|2013年|129|共1页
会议地点武汉
作者
桑可正; 韩璐; 史文鹏; 杨建锋;
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作者单位

中国机械工程学会;

中国电工技术学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ174.758.11;
关键词
三氧化二铝陶瓷; 表面钛涂层; 化学气相沉积法; 参数设计;

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