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浅述高纯气体中微量水的分析

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叙述了化工生产中电容法分析六氟化硫、四氟化碳,压电晶体法分析超纯气体,光腔衰荡光谱法测定超纯氨中的微量水含量的方法,通过在实验及工作中发现用这三种方法分析高纯气体的水含量可行,能满足产品生产监测的需要.

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来源
《全国特种气体第十七次年会》|2013年|132-136|共5页
会议地点武汉
作者
YE Xiangping; 叶相平;
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作者单位

全国特种气体信息站;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种气体;
关键词
高纯气体; 微量水分析; 含量测定; 生产管理;

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