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离子源辅助EB-PVD法制备高阻隔SiOx膜的研究

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利用离子源辅助电子枪物理气相沉积方法(EB-PVD)制备高阻隔SiOx膜.研究了氩气流量、氧气流量以及电子枪功率等参数对SiOx膜水蒸气和氧气阻隔性能的影响.实验结果表明:增大氩气流量和电子枪功率可提高SiOx膜阻隔性能,但电子枪功率过大,SiOx膜的阻氧性能下降;低氧气流量时阻隔膜阻氧性能较好,高氧气流量时阻水性能较好.采用本文确定的最佳工艺条件,制备出透水率0.059/m2·day,透氧率为0.96ML/M2·day.atm的高阻隔SiOx膜.

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来源
《中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会》|2013年|126-129|共4页
会议地点天津
作者
WU Chang-Iiang; 吴常良; LIU Xian-hao; 刘贤豪; LI Li; 李丽; HUANG Shang-hong; 黄尚鸿;
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作者单位

中国感光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类包装材料;
关键词
高阻隔氧化硅膜包装材料; 制造工艺; 电子枪物理气相沉积法; 离子源;

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