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常压微波等离子体反应器的设计与实现

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本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器.微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用,本设计中采用了矩形压缩波导结构.首先运用Ansoft HFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算,得到不同矩形压缩波导腔体内的电场分布,从而对腔体进行了优化设计,最终制作了常压微波等离子体反应器.将反应器安装在微波系统中,获得了频率为2.45GHz功率可调的稳定的微波等离子体.

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来源
《第十六届全国微波能应用学术会议》|2013年|4-7|共4页
会议地点北京
作者
ZHAO Bing; 赵冰; CHEN Yan; 陈彦; TONG Ling; 童玲; ZHANG Zhao-tang; 张兆镗;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN136:TN102;
关键词
常压微波等离子体反应器; 结构设计; 电场分布; 模拟计算;

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