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金刚石砂轮表面形貌大范围测量系统

摘要

金刚石砂轮是一种超硬材料砂轮,在硬脆性材料加工中获得重要应用。目的:为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触大范围精密测量,建立了基于干涉原理的测量系统.对该系统所采用的测量原理和关键技术进行研究.方法:首先,根据垂直扫描白光干涉显微测量原理以及被测对象的特征,提出了适用于砂轮测量的方法.接着,对其关键技术,包括自动扫描范围确定、垂直方向大范围扫描的方法、单次测量三维表面恢复算法、磨粒识别算法等进行了分析.然后,结合自行设计的夹具,搭建的了砂轮测量系统,并对多次大范围测量拼接算法进行了实验分析.结果:实验结果表明:根据实际应用所选择的基于区域重合大小(重合度30%~50%)的拼接算法获得的拼接前后重合区域的相关系数均大于0.8.结论:所搭建的系统可以恢复砂轮的形貌,其测量范围和精度可以满足砂轮大范围评定和分析要求。

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