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日立新型超高分辨率和超强分析能力的冷场扫描电镜SU8200系列—新研发的冷场电子枪,分辨率更高,稳定性更强—

摘要

扫描电镜广泛应用于纳米技术,半导体及电子产品,碳材料,生物及制药等领域.本文详细介绍了SU8200系列采用日立高新技术公司全新开发的冷场电子枪。首先分析了其主要特点,在此基础上描述了其在实践中的应用。且实践表明其实现超高分辨观察的同时,稳定的束流亦可满足长时间的分析需求。

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