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利用直流控射方法制备具有高迁移率、高红外透过的ZnO:H薄膜

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对于传统的AZO、GZO来说要想实现其高电导就必须提高掺杂浓度来提高载流子浓度,然而过高的载流子浓度对红外光的吸收异常严重.本文通过引入氢气作为掺杂源,利用磁控溅射方法生长ZnO:H薄膜,在维持电学性能不变的前提下降低载流子浓度提高迁移率,减少对近红外光的吸收,以此来权衡光学与电学特性,实现让更多的光尤其是红外光透过并进入吸收层来提升电池效率.

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来源
《第13届中国光伏大会》|2013年|388-393|共6页
会议地点北京
作者
梁俊辉; 张晓丹; 黄茜; 张德坤; 孙建; 魏长春; 王延峰; 田淙升; 刘杰铭; 陈泽; 梁雪娇; 赵颖;
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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21:TN304.05;
关键词
掺氢氧化锌薄膜; 直流控射工艺; 电学性能; 数值分析;

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