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湿法腐蚀法制备高绒度、高反射复合背电极

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本文研究了一种用于nip型硅基薄膜太阳电池的高绒度、高反射的复合背电极结构.首先采用溅射ZnO薄膜,采用稀盐酸湿法腐蚀获得大尺寸的绒面结构;然后溅射小尺寸绒面结构的Ag;最后溅射ZnO介质薄膜.这样形成的ZnO/Ag/ZnO背电极在大尺寸绒面结构的ZnO中包络着小尺寸绒面结构的Ag,由于后面的ZnO介质薄膜厚度较薄,最后的背电极表面自然复制了这种大小相间隔的绒面结构,能够实现良好的陷光作用,同时抑制背电极与硅薄膜接触面的空洞形成.对于ZnO/Ag/ZnO结构的复合背电极,目前实验获得的背电极在波长500nm～1200nm范围内的总反射大于90％,350nm-1200nm范围内的反射绒度大于90％.

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来源
《第13届中国光伏大会》|2013年|417-420|共4页
会议地点北京
作者
索松; 侯国付; 赵静; 魏长春; 张晓丹; 赵颖;
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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM914.41:TM910.3;
关键词
硅基薄膜太阳电池; 复合背电极; 湿法腐蚀工艺; 光学性能;

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