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氮化硅涂层碳化失效机理研究

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氮化硅涂层是多晶硅铸锭必不可少的脱模剂,完整的氮化硅涂层是保证硅锭从坩埚中顺利脱离的关键.本文重点研究了氮化硅涂层的失效机理,结果显示,氮化硅涂层的碳化是导致氮化硅涂层与硅熔体间非浸润性降低,从而导致氮化硅涂层失效的主要原因,氮化硅涂层的厚度、成分以及铸锭过程的气氛条件可显著影响氮化硅涂层的碳化.

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来源
《第13届中国光伏大会》|2013年|253|共1页
会议地点北京
作者
尹长浩; 周海萍; 张兆玉; 黄新明;
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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12:TN304.05;
关键词
多晶硅; 铸锭工艺; 氮化硅涂层; 失效机理;

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