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薄膜疲劳失效预测方法与损伤机制的研究进展

摘要

长期以来,由于薄膜材料的尺寸范围,结构以及其服役环境的特殊性,针对薄膜失效行为、寿命预测及可靠性评估技术的研究明显滞后于薄膜门类及应用的发展.本文对薄膜疲劳寿命的预测方法进行了综述,分析了常用的单向循环加载法和悬臂梁弯曲法.并详细介绍了纳米级动态载荷法,包括连续刚度法和纳米冲击试验法,此种方法能够对实际服役环境更好的模拟,可以实现分相测试以及多种功能模块的原位定点检测,以及定量分析薄膜的疲劳性能.并对薄膜疲劳损伤失效机制的研究现状进行探讨与展望,指出薄膜材料疲劳失效机理的探究,应向薄膜材料失效过程的研究与定量分析的方向发展.

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