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压应力对制备立方氮化硼薄膜的影响

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该文利用薄膜的双轴应力模型，以压应力和衬底温度为自变量，计算了氮化硼薄膜中六角氮化硼（ｈＢＮ）转化为立方氮化硼（ｃＢＮ）时吉布斯自由能的改变量，据此讨论了压应力和衬底温度的大小对立方相形成的影响。

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来源
《1998年中国材料研讨会》|1998年|658-659|共2页
会议地点北京
作者
邓金祥; 严辉; 陈光华;
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作者单位

中国材料研究会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类工程材料学;薄膜物理学;
关键词
薄膜; 立方氮化硼薄膜; 氮化硼; 压力影响; 吉布斯自由能;

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