位移场的光栅相移测量

摘要

该文介绍一种光栅相位移实现方法及显微镜下的光栅相位移变形测量系统。利用倾斜光学平行平板的折射效应,使光栅的象产生偏移进而实现相位移:对一透射式偏光显微镜进行改造,实现也显微镜下的单向拉伸实验的位移场测量,测试系统具有1μm的空间分辩率0.03μm至0.01μm的位移精度。

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