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用原子力显微镜实测微区的位移场

摘要

该文介绍用原子力显微镜测量微区表面形貌,并结合数字图像相关分析,实测得微区位移场,按显微镜的精度,测量分辨率可达纳米量级。作为应用实例,还介绍了金属损伤观测和单晶硅片键接界面处热变形试验。

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