首页> 中文会议>中国工程热物理学会传热传质学学术会议 >用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性

用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性.本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热汞芯片的温度分布特性及微辐射热计的热阻特性.在测试中考虑了对象的有效发射率等影响测量精度的系统因素.

著录项

来源
《中国工程热物理学会传热传质学学术会议》|2002年|881-884|共4页
会议地点上海
作者
朱德忠; 张荣海; 顾毓沁; 郝京阳;
展开▼
作者单位

中国工程热物理学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试和检验;红外探测、红外探测器;
关键词
MEMS; 红外热成像; 微电子机械系统; 温度分布特性; 微辐射热计;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性 [J] . 朱德忠 ,张荣海 ,顾毓沁 . 工程热物理学报 . 2003,第4期
2. 基于红外热成像技术的软包锂电池热特性分析 [J] . 李君 ,付莹 ,于锋 . 科学技术与工程 . 2020,第027期
3. 基于红外热成像技术的锂离子电池热特性试验研究 [J] . 陈坤 ,李君 ,于锋 . 科学技术与工程 . 2019,第021期
4. 基于六轴MEMS器件姿态测量系统 [J] . 景希 ,高国伟 . 计算机测量与控制 . 2021,第006期
5. 基于MEMS器件的惯性测量模组实现 [J] . 刘丝丝 ,肖唐杰 ,陈远强 . 东方电气评论 . 2017,第004期
6. 基于MEMS器件的随钻测量单元电路设计 [C] . 刘涛 ,王伯雄 . 2009中国仪器仪表与测控技术大会 . 2009
7. 基于微光电阵列的MEMS器件振动在线测量系统研究 [A] . 林冠 . 2019

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号