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基于激光强度调制的光纤探针式表面粗糙度测量的实验研究

摘要

本文分析了表面轮廓对激光强度调制的原理,并将其应用于表面粗糙度测量中.文中描述了本实验装置各个组成部分的实现方法,最后给出了实验结果及误差分析.

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