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刘惠鹏; 周浩敏;
中国仪器仪表学会;
中国电子学会;
中国航空学会;
硅谐振式压力微传感器; 耦合干扰; 数字闭环系统;
机译:谐振式压力传感器与无线连接的水位监控系统研究
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
机译:基于FPGA的硅共振微传感器闭环系统研究
机译:基于硅的共振微传感器平台,适用于化学和生物应用。
机译:基于玻璃硅真空包装的温度敏感型谐振压力微传感器
机译:基于AGC闭环控制的谐振式压力传感器驱动仿真及接口电路设计
机译:基于Q因子测量的高分辨率大动态范围谐振式压力传感器
机译:用于感测压力或温度的基于光纤的半导体微传感器,所述传感器的制造方法以及将光纤固定至硅块的方法
机译:用于传感压力或温度的基于光纤的半导体微传感器,主动传感器的制造方法以及将光纤固定到硅块的方法
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