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行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟研究

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摘要

利用FLUENT计算软件,对行星式三重流CVD反应器的输运过程进行二维数值模拟研究.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系、特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的优化条件.

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来源
《中国工程热物理学会2004年传热传质学学术会议》|2004年|989-994|共6页
会议地点吉林
作者
左然; 张红; 刘祥林;
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作者单位

中国工程热物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类不可压缩粘性流体力学;
关键词
化学气相沉积; 输运过程; 热对流; 数值模拟; 对流涡旋; 反应器;

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