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反应液加入H<,2>O<,2>制备本征SnO<,2>高阻薄膜

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在反应液中加入H<,2>O<,2>,用超声喷雾热分解技术制备了SnO<,2>高阻薄膜.结合XRD图谱,方块电阻测试.透光率测试以及Tauc曲线分析的结果,发现反应液中加入H<,2>O<,2>制备的SnO<,2>薄膜,膜质较好,样品在(200)晶面有明显的择优取向;电阻率有明显提高,为12~13Ω·cm;透光率与一般的透明导电膜并没有很大差别.

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来源
《第五届中国功能材料及其应用学术会议》|2004年|1148-1150|共3页
会议地点秦皇岛
作者
郝瑞英; 雷智; 郑家贵; 冯良桓; 蔡伟; 武莉莉; 张静全;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国金属学会;

中国稀土学会;

中国复合材料学会;

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
H,2O,2; SnO,2; 超声喷雾热分解技术; 高阻薄膜;

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反应液加入H<,2>O<,2>制备本征SnO<,2>高阻薄膜

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