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提高辐射剂量计用金刚石膜电学性能的研究

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本文针对目前金刚石膜存在电阻率低,使辐射剂量计器件的信噪比不大、X光灵敏度较低的问题,采用优化的氧等离子体和氮等离子体对生成膜进行原位后处理.结果表明:氧等离子体处理比氮等离子体更能有效的刻蚀石墨等非金刚石成分;处理后样品生成膜的电阻率可提高至少4个数量级;优化的等离子体处理工艺能提高金刚石膜对X射线的响应.

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来源
《第十三届全国高技术陶瓷学术年会》|2004年|755-758|共4页
会议地点大连
作者
廖晓明; 冉均国; 苟立; 苏葆辉; 张进; 王兵;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
金刚石薄膜; 等离子体处理; 电学性能; 辐射剂量计;

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