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一维硅锗纳米复合材料的制备及在场效应晶体管中的应用

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摘要

一维硅锗纳米复合材料,主要包括硅锗纳米线异质结与纳米管,具有优异的电学、光学等性能,易与现代以硅为基础的微电子工业相兼容,所以在纳米器件等领域得到了广泛重视.总结了一维硅锗纳米复合材料的研究现状和相关的制备方法,重点评述了在纳米场效应晶体管中的应用,并对其研究前景做了展望。

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来源
《第六届中国功能材料及其应用学术会议》|2007年|2323-2326|共4页
会议地点武汉
作者
裴立宅; 赵海生; 谭伟; 俞海云;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国物理学会;

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类元素半导体;
关键词
一维硅锗纳米复合材料; 场效应晶体管; 制备工艺;

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