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DC Arc Plasma Jet CVD金刚石自支撑膜的质量对物理性能的影响

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本研究对Raman谱进行高斯(Gauss)和洛仑兹(Lorenz)分峰拟合,将金刚石自支撑膜Raman谱分成纯金刚石峰和非金刚石峰,对比两种方法的精度,结果显示高斯拟合的精度高些.运用经验公式计算出金刚石自支撑膜的质量因子,发现质量因子主要受纯金刚石峰强度和无定型碳峰强度的影响,非金刚石峰强度与质量因子成反比,纯金刚石峰强与质量因子成正比,同时还受到内应力的影响。质量因子与热导率、断裂强度和红外透过率的关系表明,金刚石自支撑膜的以上物理性能与其质量成正比关系.

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来源
《第六届中国功能材料及其应用学术会议》|2007年|3802-3805|共4页
会议地点武汉
作者
郭世斌; 王耀华; 陈飞; 吕反修; 唐伟忠; 佟玉梅;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国物理学会;

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.18;
关键词
金刚石自支撑膜; 热学性能; 力学性能; 光学性能;

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